特許
J-GLOBAL ID：200903008298276832

圧電体薄膜素子およびその製造方法、ならびにこれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置

発明者：
村井 正己

村井 正己 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-204576
公開番号（公開出願番号）：特開2003-174211
出願日： 2002年07月12日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 圧電体薄膜の結晶状態を適切に制御して、圧電特性の優れた圧電体薄膜素子及びその製造方法、ならびにこれを用いたインクジェット記録ヘッド及びインクジェットプリンタ等の液体吐出装置を提供する。【解決手段】 上部電極44と、下部電極42と、該上部電極44及び下部電極42の間に形成された圧電体薄膜43と、を備えた圧電体薄膜素子100であって、圧電体薄膜43は、最も下部電極側に位置する第一の層431と、該第一の層431よりも上部電極側に位置しかつ第一の層431の膜厚よりも膜厚が大きい第二の層(433〜436)と、を含むように構成する。
請求項（抜粋）：
上部電極と、下部電極と、該上部電極及び下部電極の間に形成された圧電体薄膜と、を備えた圧電体薄膜素子であって、前記圧電体薄膜は、複数の層からなり、該複数の層は、最も下部電極側に位置する第一の層と、該第一の層よりも上部電極側に位置しかつ第一の層の膜厚よりも膜厚が大きい第二の層と、を含む圧電体薄膜素子。
IPC (7件)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/24
FI (6件)：
H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 A ,  H01L 41/22 Z
Fターム (12件)：
2C057AF93 ,  2C057AG39 ,  2C057AG42 ,  2C057AG43 ,  2C057AG44 ,  2C057AP03 ,  2C057AP14 ,  2C057AP34 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (5件)
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