特許
J-GLOBAL ID：200903090412907307

表面波装置及びそれを用いた弾性表面波デバイス

発明者：
門田 道雄

門田 道雄 について

, 
中尾 武志

中尾 武志 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-132655
公開番号（公開出願番号）：特開2002-330051
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 反射特性に優れ、反射器を構成するフィンガを少なくして、製品の小型化を図ることが可能で、かつ、電気機械結合係数が大きくてロスが少なく、しかも、電極の膜厚が周波数に与える影響の小さい、信頼性の高い表面波装置を提供する。【解決手段】 水晶基板上にSH波を励振するIDT用のフィンガ及びSH波を反射するフィンガを形成した表面波装置において、オイラー角(0°,θ,90°±2°)において、θが110°〜150°、STカット90°X軸伝搬の水晶基板上に、Alを主成分とする材料からなり、かつ、規格化膜厚(H/λ)が、0.025〜0.135の範囲にあるフィンガを形成する。
請求項（抜粋）：
水晶基板上に配設された、SH波を励振するIDT用のフィンガ及び、前記SH波を反射するフィンガとを備えた表面波装置であって、前記水晶基板が、オイラー角(0°,θ,90°±2°)において、θが110°〜150°、STカット90°X軸伝搬の水晶基板であり、前記フィンガが、Alを主成分とする材料からなり、かつ、前記フィンガの規格化膜厚(H/λ)が、0.025〜0.135の範囲にあることを特徴とする表面波装置。
IPC (2件)：
H03H 9/25 ,  H03H 9/145
FI (2件)：
H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 Z
Fターム (8件)：
5J097AA06 ,  5J097AA19 ,  5J097AA29 ,  5J097BB11 ,  5J097DD28 ,  5J097GG02 ,  5J097GG07 ,  5J097KK05
引用特許：
審査官引用 (8件)
  • 特開昭63-198410
  • 表面波装置及び通信機装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-134474   出願人：株式会社村田製作所
  • 特開平2-122242
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