特許
J-GLOBAL ID:200903090476758542
カラーレジスト組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高橋 勝利
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-268142
公開番号(公開出願番号):特開2004-109179
出願日: 2002年09月13日
公開日(公表日): 2004年04月08日
要約:
【課題】スピンコート等による塗布性に優れ、カラー液晶ディスプレーに使用されるカラーフィルター等の作製に好適に用いることができるカラーレジスト組成物を提供すること。【解決手段】フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体(A)と塩基性基含有エチレン性不飽和単量体(B)を含む単量体類(G)を重合して得られる共重合体(I)からなるフッ素系界面活性剤を含有するカラーレジスト組成物であって、単量体類(G)中の塩基性基含有エチレン性不飽和単量体(B)の含有率が5〜70重量%であることを特徴とするカラーレジスト組成物。【選択図】 なし。
請求項(抜粋):
フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体(A)と塩基性基含有エチレン性不飽和単量体(B)を含む単量体類(G)を重合して得られる共重合体(I)からなるフッ素系界面活性剤を含有するカラーレジスト組成物であって、単量体類(G)中の塩基性基含有エチレン性不飽和単量体(B)の含有率が5〜70重量%であることを特徴とするフッ素系界面活性剤を含有するカラーレジスト組成物。
IPC (2件):
FI (3件):
G03F7/004 504
, G03F7/004 505
, G02B5/20 101
Fターム (42件):
2H025AA18
, 2H025AB13
, 2H025CC04
, 2H048BA02
, 2H048BA45
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 4J027AC02
, 4J027AC03
, 4J027AC04
, 4J027AC06
, 4J027AF05
, 4J027BA03
, 4J027BA07
, 4J027BA13
, 4J027BA19
, 4J027CB09
, 4J027CD10
, 4J100AL03R
, 4J100AL04R
, 4J100AL05R
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100AL08S
, 4J100AM19Q
, 4J100AQ12Q
, 4J100BA03S
, 4J100BA08S
, 4J100BA31Q
, 4J100BA34P
, 4J100BA59P
, 4J100BA81R
, 4J100BB18P
, 4J100BC65Q
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100CA06
, 4J100FA03
, 4J100FA19
, 4J100JA38
引用特許:
審査官引用 (10件)
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特開平1-241542
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フッ素系界面活性剤及びその組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-086231
出願人:大日本インキ化学工業株式会社
-
フォトレジスト組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-210641
出願人:大日本インキ化学工業株式会社
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