特許
J-GLOBAL ID：200903090498894598

半導体装置のテストハンドラ

発明者：
深沢 義人

深沢 義人 について


出願人/特許権者：
東芝マイクロエレクトロニクス株式会社

東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 について

, 
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-040017
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229999
出願日： 1996年02月27日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、連続稼働時におけるテスタの非稼働時間を短縮して、稼働効率を向上させた半導体装置のテストハンドラを提供することを課題とする。【解決手段】 この発明は、テストトレー21にそれぞれ固有の識別符号を付加し、この識別符号をテストハンドラ内の所定の位置に設けられた読み取り手段によって読み取り、読み取られた識別符号とともに識別符号が読み取られた管理位置ならびに読み取られた識別符号が付加されたテストトレー21に装着された製品ICの製品情報を管理テーブルに記録管理し、管理テーブルに記録された内容をモニター画面に表示し、それぞれのテストトレー21の製品IC2を集中管理するように構成される。
請求項（抜粋）：
テストされる複数の製品ICが装着部でテストトレーに装着され、製品ICが装着されたテストトレーがテスト部に搬送されて製品ICがテストされ、テストが終了したテストトレーが分類部に搬送され、テスト結果に基づいて製品ICが分類される半導体装置のテストハンドラにおいて、他のテストトレーと区別するためのそれぞれ固有の識別符号が付加されたテストトレーと、前記テストトレーが搬送されるテストハンドラ内の所定の管理位置に設けられて、前記テストトレーに付加された識別符号を読み取る読み取り手段と、前記読み取り手段によって読み取られた識別符号を、該識別符号を読み取った管理位置ならびに該識別符号が付加されたテストトレーに装着された製品ICの製品情報とともに記録管理する管理テーブルを備え、前記管理テーブルの内容をモニター画面に表示し、テストハンドラ内での個々の前記テストトレーの個々の管理位置における識別符号や製品ICの製品情報等の状態を集中管理して把握する管理手段とを有することを特徴とする半導体装置のテストハンドラ。
IPC (2件)：
G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01R 31/26 Z ,  H01L 21/66 A
引用特許：
審査官引用 (3件)

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