特許

J-GLOBAL ID：200903090507533218

ヒータ断線検出方法、温度調節器および熱処理装置

発明者： 南野 郁夫 ,  難波 悌次 ,  西川 俊一 ,  向井 淳
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-265817
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343537
出願日： 2001年09月03日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で、かつ低コストで断線を検出できる断線検出方法、それを用いた温度調節器および熱処理装置を提供する。【解決手段】 温度調節器7では、制御対象の温度が目標温度に達するまでの最大傾きを計測して上位コンピュータ8に出力し、上位コンピュータ8では、温度調節器7からの最大傾きと予め記憶部11に記憶されている正常時の最大傾きとを比較してヒータの断線を検出するようにしている。

請求項（抜粋）：

制御対象を加熱するヒータの断線を検出するヒータ断線検出方法において、制御対象の温度が目標温度に達するまでの最大傾き、整定後の前記制御対象のゲイン、整定後の操作量および整定後の偏差の少なくともいずれか一つに基づいて、前記ヒータの断線を検出することを特徴とするヒータ断線検出方法。

IPC (3件)：

H05B 3/00 320 ,  H05B 3/00 310 ,  H05B 3/00

FI (3件)：

H05B 3/00 320 B ,  H05B 3/00 310 C ,  H05B 3/00 310 D

Fターム (4件)：

3K058AA96 ,  3K058CA12 ,  3K058CA32 ,  3K058GA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 定着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-239074   出願人：株式会社リコー
• 制御機器の異常検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-254180   出願人：理化工業株式会社
• 特開平4-009089
  
• 熱処理装置及びその抵抗発熱体群の断線検知方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-287986   出願人：東京エレクトロン株式会社