特許
J-GLOBAL ID：200903090561341448

配線構造と配線形成方法及び薄膜トランジスタ基板とその製造方法

発明者：
李 制 勳

李 制 勳 について

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▼鄭▲ 敞 午

▼鄭▲ 敞 午 について

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趙 範 錫

趙 範 錫 について

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▼襄▲ 良 浩

▼襄▲ 良 浩 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-246176
公開番号（公開出願番号）：特開2008-066680
出願日： 2006年09月11日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
【課題】本発明は、接着力が改善されて、良好な側面プロファイルを有する銅配線構造を提供する。本発明はまた、前記構造を有する配線形成方法を提供する。本発明はさらに、前記配線構造を含む薄膜トランジスタ基板を提供する。本発明はさらに、前記したような薄膜トランジスタ基板の製造方法を提供する。【解決手段】配線構造と配線形成方法及び薄膜トランジスタ基板とその製造方法が提供される。配線構造は下部構造物上に形成された銅窒化物を含むバリヤ膜及びバリヤ膜上に形成された銅または銅合金を含む銅導電膜を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
下部構造物上に形成された銅窒化物を含むバリヤ膜と、 前記バリヤ膜上に形成された銅または銅合金を含む銅導電膜を含むことを特徴とする配線構造。
IPC (5件)：
H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  H01L 29/786 ,  G02F 1/136 ,  G09F 9/30
FI (5件)：
H01L21/88 R ,  H01L29/78 612C ,  H01L21/88 M ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 338
Fターム (130件)：
2H092GA25 ,  2H092HA06 ,  2H092JA26 ,  2H092JA40 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB65 ,  2H092JB69 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092MA18 ,  2H092NA18 ,  2H092NA28 ,  5C094AA21 ,  5C094AA32 ,  5C094AA42 ,  5C094AA53 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094DA13 ,  5C094DA15 ,  5C094DA20 ,  5C094DB04 ,  5C094DB10 ,  5C094FB11 ,  5C094GB10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH14 ,  5F033HH20 ,  5F033HH22 ,  5F033HH32 ,  5F033HH35 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ20 ,  5F033JJ22 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ35 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK01 ,  5F033KK04 ,  5F033KK11 ,  5F033KK20 ,  5F033KK22 ,  5F033KK32 ,  5F033LL09 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033MM19 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP16 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ34 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ98 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR11 ,  5F033RR21 ,  5F033RR27 ,  5F033SS11 ,  5F033SS15 ,  5F033VV06 ,  5F033VV10 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033WW02 ,  5F033WW04 ,  5F033XX13 ,  5F033XX14 ,  5F033XX20 ,  5F033XX28 ,  5F110AA03 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE15 ,  5F110EE23 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ13 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK05 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL04 ,  5F110HL07 ,  5F110HL12 ,  5F110HL22 ,  5F110HM03 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ21
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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