特許
J-GLOBAL ID:200903090568409951

ペリクル収納容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 薬師 稔 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-195658
公開番号(公開出願番号):特開平10-017051
出願日: 1996年07月05日
公開日(公表日): 1998年01月20日
要約:
【要約】【課題】 容器本体や蓋が歪んでいた場合でもペリクルフレームが変形することがなく、また、輸送時にペリクルフレームがガタツキを生じることも防止できるペリクル収納容器を提供する。【解決手段】 容器本体10の内底部に2条の突条18,19を同芯状に突設し、これら突条18,19間にゴム弾性を有するシリコーンゴムや熱可塑性エラストマ等の材料で成形された弾性変形部材16を嵌着する。そして、ペリクル30が接着されたペリクルフレーム31を弾性変形部材16上に載置し、蓋20を被蓋した状態で押さえ部22によりペリクルフレーム31押圧して押さえ部22と弾性変形部材16との間に挟持し、蓋20や容器本体10の歪みを弾性変形部材16の弾性変形で吸収するように構成した。
請求項(抜粋):
周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有し、前記容器本体の嵌合部に嵌合して該容器本体を被蓋する蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレームを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを前記蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して挟持するペリクル収納容器において、前記載置部にゴム弾性を有する弾性変形部材を設け、該弾性変形部材上に前記ペリクルフレームを載置することを特徴とするペリクル収納容器。
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • ペリクル収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-291668   出願人:信越化学工業株式会社
  • ペリクル収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-299071   出願人:信越ポリマー株式会社, 新潟ポリマー株式会社
  • 基板保持用ケース
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-229382   出願人:大日本印刷株式会社
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