特許

J-GLOBAL ID：200903090627746371

隔壁の製造法

発明者： 土屋 勝則 ,  丹野 清吉 ,  大友 聡
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226577
公開番号（公開出願番号）：特開平10-069851
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】 解像度とサンドブラスト耐性が優れ、微細で、位置及び寸法精度の高い隔壁を製造できる隔壁の製造法を提供する。【解決手段】 基板上に、微小な放電発光領域を区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイ基板の隔壁の製造法において、(I)基板上に隔壁材層を形成する工程、(II)隔壁材層の上に、感光性樹脂組成物層を形成する工程、(III)感光性樹脂組成物層を、露光、現像処理して、感光性樹脂組成物層の硬化皮膜のパターンを形成する工程、(IV)硬化皮膜のパターンをマスクとしてサンドブラスト処理する工程及び(V)硬化皮膜のパターンを除去する工程を含む工程を行うことを特徴とするプラズマディスプレイ基板の隔壁の製造法。

請求項（抜粋）：

基板上に、微小な放電発光領域を区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイ基板の隔壁の製造法において、(I)基板上に隔壁材層を形成する工程、(II)隔壁材層の上に、感光性樹脂組成物層を形成する工程、(III)感光性樹脂組成物層を、露光、現像処理して、感光性樹脂組成物層の硬化皮膜のパターンを形成する工程、(IV)硬化皮膜のパターンをマスクとしてサンドブラスト処理する工程及び(V)硬化皮膜のパターンを除去する工程を含む工程を行うことを特徴とするプラズマディスプレイ基板の隔壁の製造法。

IPC (6件)：

H01J 9/02 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/40 521

FI (6件)：

H01J 9/02 F ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/40 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-282531
  
• 厚膜パターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-313777   出願人：凸版印刷株式会社
• 特開平4-215659
  
• 感光性樹脂組成物、感光性エレメント及びこれを用いた蛍光体パターンの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-221940   出願人：日立化成工業株式会社