特許
J-GLOBAL ID：200903090627960306
変位情報検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-178115
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351821
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 変位物体の変位情報を、該変位物体を介した光束の直線偏光方向の回転量及び方向より求めた変位情報検出装置の提供を目的とする。【解決手段】 該変位物体を介したP偏光成分およびS偏光成分に対して45°の角度をなす方向に進相軸方向を配置し、該P偏光成分およびS偏光成分をそれぞれ互いに逆回りの円偏光に変換する1/4波長板と、入射光束を2分割する光分割手段と、P偏光またはS偏光の振動方向に対して22.5°の角度をなす方向に進相軸方向を配置し、2分割した入射光束のうちの一方の直線偏光方位を変化させる1/2波長板と、2分割した光束のP偏光成分を透過しS偏光成分を反射する偏光ビームスプリッタと、2分割した光束のそれぞれのP偏光成分とS偏光成分を受光する4つの受光素子によって、位相差が90°の4つの正弦波信号を検出し、該正弦波信号を利用して変位物体の変位情報を検出すること。
請求項（抜粋）：
変位物体の変位量を該変位物体を介した直線偏光の直線偏光方位の回転情報を検出して求める変位情報検出装置において、該変位物体を介したP偏光成分およびS偏光成分に対して45°の角度をなす方向に進相軸方向を配置し、該P偏光成分およびS偏光成分をそれぞれ互いに逆回りの円偏光に変換する1/4波長板と、入射光束を2分割する光分割手段と、P偏光またはS偏光の振動方向に対して22.5°の角度をなす方向に進相軸方向を配置し、2分割した入射光束のうちの一方の直線偏光方位を変化させる1/2波長板と、2分割した光束のP偏光成分を透過しS偏光成分を反射する偏光ビームスプリッタと、2分割した光束のそれぞれのP偏光成分とS偏光成分を受光する4つの受光素子によって、位相差が90°の4つの正弦波信号を検出し、該正弦波信号を利用して変位物体の変位情報を検出することを特徴とする変位情報検出装置。
IPC (5件)：
G01B 11/00
, G01D 5/28
, G01D 5/30
, G01D 5/34
, G02B 5/30
G01B 11/00 F
, G01D 5/28 A
, G01D 5/30 S
, G02B 5/30
, G01D 5/34 D
