特許
J-GLOBAL ID：200903022434210916
干渉装置、位置検出装置、位置決め装置およびそれを用いた情報記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256788
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094514
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 物体側に大げさな部材や特殊な加工を設けることを必要とせずに、物体の位置を非接触で高い信頼度で高精度、高分解能に位置検出、位置決めすることが可能な位置検出装置、位置決め装置とこれを実現可能にする干渉装置及びそれを用いた情報記録装置を提供する。【解決手段】 干渉させるべき2つの光束の合成光束を同一領域にて3つ以上の分割光束に振幅分割し、該複数の分割光束より互いに位相の異なる干渉光束を得る。また、光透過部材(NCP)内で収束光束を分割し、分割光束の一方に分割位置から該光透過部材外の空間に存在する面までの間の経路を該面上で概略集光する形で往復させ、且つ分割光束の他方を前記光透過部材内の前記経路と概略等しい波動光学的光路長の経路を往復させた後、該分割光束同士を合波し、得られた合波光束の一部を領域選択して干渉信号を得る。
請求項（抜粋）：
干渉させるべき2つの光束の合成光束を同一領域にて3つ以上の分割光束に振幅分割し、該複数の分割光束より互いに位相の異なる干渉光束を得ることを特徴とする干渉装置。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/00
, G11B 19/20
G01B 9/02
, G01B 11/00 G
, G11B 19/20 H
