特許
J-GLOBAL ID：200903090635271838

表面形状測定装置

発明者：
高 偉

高 偉 について

, 
清野 慧

清野 慧 について

, 
ペイセン ホワン

ペイセン ホワン について


出願人/特許権者：
株式会社東北テクノアーチ

株式会社東北テクノアーチ について


代理人 (1件)： 重信 和男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-359677
公開番号（公開出願番号）：特開2003-161615
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：
【要約】【課題】 高速で高精度な表面形状測定装置の提供【解決手段】 試料110は、スピンドル120に搭載されて、回転させることができる。センサ・ユニット140は、リニア・センサ・キャリッジ130によりX方向に動き、試料110がスピンドル120により回転しているときに、試料表面を走査する。センサ・ユニット140中には2つの2次元角度センサが距離D離れて設置されている。この構成により、2つの2次元角度センサを用いて試料の表面を走査し、表面の局所傾斜角度の変化を計測することにより、キャリッジやスピンドルの運動誤差を取り除いて、正確な表面形状を得ることができる。
請求項（抜粋）：
表面形状測定装置であって、表面形状の測定対象を回転させるスピンドルと、センサ・ユニットを直線に移動させるセンサ・キャリッジと、前記センサ・ユニットに格納され、前記測定対象の近接した2点の局所2次元傾斜角度を計測する2つの2次元角度センサとを備え、前記スピンドルと前記センサ・キャリッジの相対運動により前記測定対象の表面を走査し、前記測定対象に対する測定位置及び前記2つの2次元角度センサからの出力により、前記測定対象の表面形状を求めることを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 21/30 101 ,  G01B 11/26 ,  G01B 21/20
FI (3件)：
G01B 21/30 101 F ,  G01B 11/26 Z ,  G01B 21/20 C
Fターム (51件)：
2F065AA01 ,  2F065AA19 ,  2F065AA20 ,  2F065AA31 ,  2F065AA47 ,  2F065AA53 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065EE11 ,  2F065FF16 ,  2F065FF17 ,  2F065FF23 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065FF67 ,  2F065GG06 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ22 ,  2F065JJ24 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM06 ,  2F065PP04 ,  2F065PP13 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065RR09 ,  2F069AA54 ,  2F069AA77 ,  2F069BB15 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG58 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ17 ,  2F069JJ19 ,  2F069NN08
引用特許：
審査官引用 (5件)
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