特許
J-GLOBAL ID:200903090685976808

吸着ハンドの昇降機構および制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-189058
公開番号(公開出願番号):特開平11-019895
出願日: 1997年06月30日
公開日(公表日): 1999年01月26日
要約:
【要約】【課題】 ICに過剰な衝撃を与えず、衝撃でICを離脱しない吸着ハンドの昇降機構および制御方法を提供する。【解決手段】 吸着ハンド11はICに弾性接触し内部を負圧にしてICを吸着する吸着パッド1Aを下端にもつ。移動体21は吸着ハンド11を下端部に保持する。直動ベアリング31を移動体21の立設壁に取り付け、ラック41を移動体21の立設壁に取り付ける。ベース60は直動ベアリング31とすべり結合する直動ガイド51を立設する。モータ81はラック41とかみ合うピニオン71を回転軸に取り付ける。モータ81を回転制御することにより吸着ハンド11と移動体21と直動ベアリング31とラック41が一体となって昇降する。
請求項(抜粋):
吸着ハンドは下端にICに当接する吸着パッドをもち、前記吸着ハンドは案内手段により昇降方向のみ運動し、回転手段を直線運動に変換して前記吸着ハンドを昇降させることを特徴とする吸着ハンドの昇降機構。
IPC (3件):
B25J 18/02 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/66
FI (4件):
B25J 18/02 ,  B25J 15/06 N ,  B25J 15/06 B ,  H01L 21/66 G
引用特許:
審査官引用 (4件)
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