集積化ガスパネル用制御機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三宅景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281385
出願日： 1997年04月07日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】制御機器本体の脱着を、ガスラインを分解することなく簡単にでき、また制御機器本体の結合部の緊密なシール性を確保できてユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にでき、その上コンパクトにできてガスラインでの省スペース化を図ることができる。【解決手段】半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム弁1、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、マスフローメーター等の制御機器であって、本体を縦型にし、下部のボディ3にガス流入通路4、ガス流出通路5を設け、ボディ3の外周に内ねじを有する袋状ナット14を装着する。ボディ3を流路ブロック15の装着穴16に装入し、袋状ナット14にて流路ブロック15に締結し、ボディ3の下面と対向する装着穴16の底面を周縁より高い凸型に形成し、これらの間にガス通路穴20、21を有するガスケット22を介在してシールしている。

請求項（抜粋）：

半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、マスフローメーター等の制御機器であって、該制御機器の本体は縦型になされ、本体下部のボディにガス流入通路、ガス流出通路が設けられ、ボディの外周に内ねじを有する袋状ナットが装着されて成り、前記制御機器のボディが流路ブロックの上向き開口の装着穴に装入され、前記袋状ナットにて流路ブロックに締結されていることを特徴とする集積化ガスパネル用制御機器。

引用特許：

出願人引用 (4件)

ガス供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045929 出願人：株式会社東芝, シーケーディ株式会社
スローベントバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-100428 出願人：株式会社ベンカン
空気圧作動式メタルダイヤフラム弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-245035 出願人：株式会社本山製作所

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