特許
J-GLOBAL ID：200903090733857450

リソグラフィー用洗浄剤

発明者：
武田 貴志

武田 貴志 について


出願人/特許権者：
クラリアント ジャパン 株式会社

クラリアント ジャパン 株式会社 について


代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167593
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044960
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】レジスト溶解性に優れかつ人体に対する安全性の高いリソグラフィー用洗浄剤を提供する。【解決手段】リソグラフィー用洗浄剤は、プロピレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート、エチレングリコールアルキルエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、酢酸アルキルエステル、プロピオン酸アルキルエステル、アルコキシプロピオン酸アルキルエステル、乳酸アルキルエステル、脂肪族ケトン(ケトン類)及びアルコキシブタノールからなる群から選ばれた少なくとも1種の有機溶剤と、アルキル基の炭素数が1から4のアルコール類から選ばれた少なくとも1種のアルコールとの均質溶液からなる。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとエタノールとの混合溶液を用いた場合、特に溶解性が優れた洗浄剤を得ることができる。
請求項（抜粋）：
下記A群の中から選ばれた少なくとも1 種の有機溶剤とアルキル基の炭素数が1から4のアルコール類から選ばれた少なくとも1種のアルコールとの均質溶液からなることを特徴とするリソグラフィー用洗浄剤。A群プロピレングリコールアルキルエーテルプロピレングリコールアルキルエーテルアセテートエチレングリコールアルキルエーテルエチレングリコールアルキルエーテルアセテート酢酸アルキルエステルプロピオン酸アルキルエステルアルコキシプロピオン酸アルキルエステル乳酸アルキルエステル脂肪族ケトンアルコキシブタノール
IPC (6件)：
G03F 7/42 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/50 ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341
FI (7件)：
G03F 7/42 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/50 ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 21/304 341 L ,  H01L 21/30 569 E ,  H01L 21/30 572 B
引用特許：
審査官引用 (4件)
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