特許
J-GLOBAL ID：200903090742792565

回転塗布によって形成された塗布基板の不要膜除去装置

発明者：
三上豪一

三上豪一 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154542
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342754
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 回転塗布された基板の外周部の厚膜化された部分を、自動的に、基板自体の品質に影響することなく除去する装置を提供。【構成】 回転塗布された基板の外周部の厚膜化された部分を除去する装置でしって、少なくとも、処理される基板を保持する基板保持部3と基板保持部3をX、Y、Z駆動するXYZ駆動部9と、基板保持部3とXYZ駆動部9とを直線搬送する直線搬送部5と、処理基板2の向きを90度回転させる回転部と、不要膜を除去するための除去治具4と、前記基板保持部3、XYZ駆動部、搬送部5、回転部と、除去治具4とを位置センサー等で関連づけて制御する制御部とからなり、除去治具4はそのヘッド4bが処理される基板2の外周部の一部を覆い固定配置され、基板の移動により、移動方向の辺全体にわたり不要膜を除去する。
請求項（抜粋）：
回転塗布により塗布した基板の周辺部の不要膜を、基板を直線搬送させ、基板辺方向に移動する際、基板のサイドから除去治具により、除去する処理を行う装置であって、少なくとも、処理される塗布基板を保持する基板保持部と、基板保持部をX、Y、Z駆動するXYZ駆動部と、基板保持部とXYZ駆動部とを直線搬送する直線搬送部と処理基板の向きを90度回転させる回転部と、不要膜を除去するための除去治具と、上記の基板保持部、XYZ駆動部、搬送部、除去治具とを位置センサー等で関連づけて制御する制御部とからなり、該基板保持部は処理される塗布基板を基板端の四隅にてヴァキュームチャックにより保持し、XYZ駆動部と一体で、直線搬送部により直線搬送され、該不要膜を除去するための除去治具は、不要膜を溶剤分により溶解させ、減圧して除去する方式のもので、処理される塗布基板の外周の処理の一部を覆い処理を行う除去ヘッド部を有し、除去ヘッド部は、位置センサーにより位置管理されながら、ヘッド駆動部により塗布基板との位置関係を調整され、基板の移動により移動方向辺の不要膜を除去するもので、直線搬送される処理基板の移動領域の、処理基板の移動方向辺両側に、処理時に処理される塗布基板の外周の処理部の一部を覆うように固定配置されていることを特徴とする不要膜除去装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/16 501
引用特許：
審査官引用 (4件)
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