特許

J-GLOBAL ID：200903090926926165

研磨シートの製造方法、研磨シート、及びそれを用いた研磨パッド

発明者： 下村 哲生 ,  中森 雅彦 ,  山田 孝敏 ,  小川 一幸 ,  数野 淳
出願人/特許権者： 東洋紡績株式会社 ,  東洋ゴム工業株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-265072
公開番号（公開出願番号）：特開2004-098239
出願日： 2002年09月11日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】研磨速度の経時変化が小さく、使用初期から安定した研磨が可能な研磨シート及び研磨パッドを提供すること。また、該研磨シートの製造方法及び該研磨シート又は研磨パッドを用いた半導体デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】シート状の発泡体を砥粒径の異なる研磨材を用いて多段階的にバフ掛けを行う工程を含むことを特徴とする研磨シートの製造方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

シート状の発泡体を砥粒径の異なる研磨材を用いて多段階的にバフ掛けを行う工程を含むことを特徴とする研磨シートの製造方法。

IPC (2件)：

B24B37/00 ,  H01L21/304

FI (2件)：

B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 液体分離装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-157890   出願人：日東電工株式会社
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-393215   出願人：東洋紡績株式会社, 東洋ゴム工業株式会社
• 研磨布のドレッシング治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-134669   出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社