特許
J-GLOBAL ID：200903090991319292
蛍光検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大日方 富雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-148265
公開番号（公開出願番号）：特開2007-316006
出願日： 2006年05月29日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】 試料が有限の高さを有する場合でも、励起光の焦点を最適な高さに合わせて正確な測定を行うことのできる蛍光検出装置を提供する。【解決手段】 検査チップ(3)からの反射光に基づいてフォーカス誤差信号を生成するフォーカス誤差検出手段(25)と、集光された蛍光の光量検出を行う蛍光センサ(20)と、フォーカス誤差検出手段(25)と蛍光センサ(20)からの各信号を入力としてレンズアクチュエータ(30)の制御を行う制御回路(64)とを備え、制御回路(64)は、励起光の光軸を検査チップ(3)の試料位置と重ならせた状態で前記対物レンズを昇降させることで蛍光の検出量が最大となるときのフォーカス誤差信号のオフセット値を算出し、試料測定時にこのオフセット値を基準にしてフォーカス方向の駆動制御を行うように構成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
試料の載せられた検査チップに励起光を照射してそこから発せられる蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、
励起光を前記検査チップの測定箇所に集束させるとともに前記蛍光の集光を行う対物レンズと、
該対物レンズを少なくとも励起光の焦点方向に変位させるレンズアクチュエータと、
前記検査チップからの反射光を所定の光学部品を通過させて光センサで検出することで反射面に対する前記励起光の焦点のズレ量を表わすフォーカス誤差信号を出力するフォーカス誤差検出手段と、
前記対物レンズにより集光された蛍光の光量検出を行う蛍光センサと、
前記フォーカス誤差検出手段と前記蛍光センサからの各信号を入力として前記レンズアクチュエータの制御を行う制御回路とを備え、
前記制御回路は、
前記励起光の光軸を前記検査チップの試料位置と重ならせた状態で前記対物レンズを昇降させる第1ステップと、
該第1ステップにて前記蛍光の検出量が最大となるときの前記フォーカス誤差信号のオフセット値を算出する第2ステップと、
前記オフセット値を所定の記憶領域に設定する第3ステップとを行って、
試料測定時に前記オフセット値と前記フォーカス誤差信号の値とを比較しながらフォーカス方向の駆動制御を行うことを特徴とする蛍光検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2G043BA16
, 2G043CA07
, 2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043GA02
, 2G043GA04
, 2G043GB19
, 2G043HA01
, 2G043HA07
, 2G043HA09
, 2G043JA02
, 2G043KA02
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA02
, 2G043NA06
