特許
J-GLOBAL ID：200903091001284127

窒化珪素質焼結体、その製造方法及び該窒化珪素質焼結体を用いたセラミックヒータ並びに該セラミックヒータを備えるグロープラグ

発明者：
渡邉 進道

渡邉 進道 について

, 
小西 雅弘

小西 雅弘 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308946
公開番号（公開出願番号）：特開2001-130967
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：
【要約】【課題】 品質の安定した窒化珪素質焼結体、その製造方法、及びこの窒化珪素質焼結体を基体とするセラミックヒータ、並びにこのセラミックヒータを加熱源とするグロープラグを提供する。【解決手段】 ホットプレス法による窒化珪素質焼結体の製造において、原料に還元雰囲気遮蔽剤を配合する。還元雰囲気遮蔽剤としては、Ta、W、Mo等の単体、及びこれらの金属元素の窒化物、珪化物等の化合物を使用することができる。これらの単体及び化合物は、焼結助剤の還元に優先して炭化され、それによって、特に、黒鉛製の加圧用ダイスを用いた場合に生成する一酸化炭素等による還元雰囲気における焼結助剤の還元が抑えられる。また、この窒化珪素質焼結体により基体が形成され、この基体に発熱抵抗体が埋設されたセラミックヒータ、及びこのセラミックヒータを加熱源として備えるグロープラグを得る。
請求項（抜粋）：
ホットプレス焼成時の炭素成分による還元雰囲気における焼結助剤の還元を抑えるための還元雰囲気遮蔽剤が炭化されてなる炭化物を含有することを特徴とする窒化珪素質焼結体。
IPC (3件)：
C04B 35/591 ,  F23Q 7/00 ,  H05B 3/18
FI (3件)：
F23Q 7/00 V ,  H05B 3/18 ,  C04B 35/58 102 W
Fターム (24件)：
3K092QB08 ,  3K092QB10 ,  3K092QB11 ,  3K092QB12 ,  3K092VV19 ,  3K092VV40 ,  4G001BA04 ,  4G001BA08 ,  4G001BA32 ,  4G001BA37 ,  4G001BA48 ,  4G001BA49 ,  4G001BA61 ,  4G001BB04 ,  4G001BB24 ,  4G001BB32 ,  4G001BB48 ,  4G001BB85 ,  4G001BC42 ,  4G001BC45 ,  4G001BC62 ,  4G001BD14 ,  4G001BD15 ,  4G001BE26
引用特許：
審査官引用 (4件)
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