特許
J-GLOBAL ID：200903091008608882
マイクロアクチュエ-タ及びこれを適用したインクジェットプリンタヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200626
公開番号（公開出願番号）：特開2000-190496
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：
【要約】【課題】エッチングされる圧電体の量が減少されることでエッチング液の劣化が減少されて経済的であり、ローディング効果が減少されて、工程の再現性及びエッチングされる均一性を向上させ、各空間部の間に残る圧電体は、全体的な構造の剛性を高め、板振動を減少させるとともに、各チャンバー間の混線を抑制する。【解決手段】基板70と、前記基板70に基板と一体に形成され下部のみが開放された空間部71と、前記空間部上部の基板部分上に形成され電圧が印加されるとアクチュエーティングする第1圧電体77と、前記空間部上部外の基板部分上に前記空間部の外郭線形態と対称となる部分の圧電体のみが除去された形態に形成され電圧が印加されてもアクチュエーティングしない第2圧電体79と、前記第1圧電体78の上部に形成された上部電極78とを備え、前記第2圧電体79によって全体的な構造の剛性が高まり、板振動が減少される。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板に基板と一体に形成され、下部のみが開放された空間部と、前記空間部上部の基板部分上に形成され、電圧が印加されるとアクチュエーティングする第1圧電体と、前記空間部上部外の基板部分上に前記空間部の外郭線形態と対称となる部分の圧電体のみが除去された形態に形成され、電圧が印加されてもアクチュエーティングしない第2圧電体と、前記第1圧電体の上部に形成された上部電極とを備え、前記第2圧電体によって全体的な構造の剛性が高まり、板振動が減少されることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (4件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
, H04N 1/034
B41J 3/04 103 A
, H04N 1/034
, H01L 41/08 C
