正反射型変位計

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194414
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021316
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 2軸光学系を設けることによって、被測定面の傾きによる誤差を軽減できる正反射型変位計を提供する。【解決手段】被測定物に光を照射する光照射手段および被測定物からの反射光を受光する受光素子を含む光学系と、受光素子からの出力信号を処理して被測定物の位置情報を得る演算処理手段とを備える。光学系は、被測定物への光の照射点を同一として2組備え、被測定物が傾いたとき、少なくとも第1の光学系10の受光素子12に入射する光と第2の光学系20の受光素子22に入射する光とが互いに反対方向に変位する位置関係に第1の光学系10および第2の光学系20を設置する。演算処理手段は、少なくとも第1の光学系10の受光素子12の出力信号と第2の光学系20の受光素子22の出力信号とに基づいて被測定物の傾きに起因する測定誤差を補正し被測定物の位置情報を得る。

請求項（抜粋）：

被測定物に光を照射する光照射手段および被測定物からの反射光を受光する受光素子を含む光学系と、前記受光素子からの出力信号を処理して前記被測定物の位置情報を得る演算処理手段とを備えた正反射型変位計において、前記光学系は、前記被測定物への光の照射点を同一とする第1の光学系および第2の光学系を備え、前記被測定物が傾いたとき、第1の光学系の受光素子に入射する光と第2の光学系の受光素子に入射する光とが互いに反対方向に変位する位置関係に第1の光学系および第2の光学系を設置し、前記演算処理手段は、前記第1の光学系の受光素子の出力信号と前記第2の光学系の受光素子の出力信号とに基づいて前記被測定物の傾きに起因する測定誤差を補正し前記被測定物の位置情報を得ることを特徴とする正反射型変位計。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01B 11/06

FI (2件)：

G01B 11/00 B , G01B 11/06 Z

Fターム (16件)：

2F065AA17 , 2F065AA65 , 2F065BB13 , 2F065BB22 , 2F065BB24 , 2F065DD03 , 2F065EE03 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ16 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭61-134605
特開平3-090806
距離計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-156848 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立マイコンシステム

全件表示

前のページに戻る