特許

J-GLOBAL ID：200903091061224786

光学ユニットの組立方法

発明者： 服部 洋幸 ,  江黒 弥生 ,  荒井 則一 ,  本田 浩司 ,  本田 裕一 ,  新 勇一
出願人/特許権者： コニカ株式会社
代理人 (1件)： 鶴若 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264164
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075698
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】光学機能面の面精度の低下、結露が生じにくい。【解決手段】フランジ部を有する複数個の光学素子を、この光学素子同士の光学機能面間が間隙を有するように組み合わせた光学ユニットの組立方法において、不活性ガスで充填した雰囲気下で組立を行う。また、クラス100,000以下の除塵雰囲気下で組立を行う。また、真空減圧下で組立を行う。また、湿度が60%RH以下の雰囲気下で組立を行う。また、不活性ガスで充填した雰囲気下、クラス100,000以下の除塵雰囲気下、真空減圧下、湿度が60%RH以下の雰囲気下の少なくとも2以上の組み合わせの条件で組立を行う。また、複数の光学素子を組み合わせる前に、組立後に光学素子間の間隙を構成する部位を接地させない。

請求項（抜粋）：

フランジ部を有する複数個の光学素子を、この光学素子同士の光学機能面間が間隙を有するように組み合わせた光学ユニットの組立方法において、不活性ガスで充填した雰囲気下で組立を行うことを特徴とする光学ユニットの組立方法。

IPC (3件)：

G02B 7/00 ,  G02B 7/02 ,  G02B 13/00

FI (6件)：

G02B 7/00 F ,  G02B 7/02 A ,  G02B 7/02 B ,  G02B 7/02 D ,  G02B 7/02 Z ,  G02B 13/00

Fターム (24件)：

2H043AE02 ,  2H043AE04 ,  2H043AE05 ,  2H043AE14 ,  2H043AE23 ,  2H044AA02 ,  2H044AA11 ,  2H044AA14 ,  2H044AA15 ,  2H044AA17 ,  2H044AB02 ,  2H044AB05 ,  2H044AB16 ,  2H044AB21 ,  2H044AB25 ,  2H044AD02 ,  2H044AD03 ,  2H087KA13 ,  2H087LA01 ,  2H087NA17 ,  2H087PA02 ,  2H087PA17 ,  2H087PB02 ,  2H087UA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 回折光学素子、回折光学素子を備えた光学系、回折光学素子の製造方法、回折光学素子を備えた光学系を含む露光装置、及び露光装置を用いたデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-010987   出願人：キヤノン株式会社
• 光ピックアップ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-183740   出願人：松下電器産業株式会社
• 光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-082500   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭62-153908