走査型プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹本松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-213567
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031589
出願日： 2000年07月14日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】走査型プローブ顕微鏡において、試料の傾斜やうねり、スキャナーの特性等によるマクロなZ方向変動分を補正して良好な走査を行う。【解決手段】試料と対向配置するプローブと、Z方向に駆動するZ方向スキャナーと、X,Y方向に走査するX,Y方向スキャナーと、プローブの変位を検出する測定ヘッドを具備する走査型プローブ顕微鏡において、基準高さからのマクロなZ方向変動分を補正するZ方向補正手段を備える。Z方向補正手段の第1の形態は、Z方向変動分を補償するためのX,Y方向の位置に対するZ方向の補正データを備え、この補正データに基づいてZ方向スキャナーの駆動量を補正する。Z方向補正手段の第2の形態は、試料台と試料との間において、走査型プローブ顕微鏡の基準面に対する傾斜角度を一方向又は二方向で調整可能とする傾斜ステージを備え、この傾斜ステージによって、試料あるいはスキャナーの特性による傾斜を補正する。

請求項（抜粋）：

試料と対向配置するプローブと、Z方向に駆動するZ方向スキャナーと、X,Y方向に走査するX,Y方向スキャナーと、プローブの変位を検出する測定ヘッドを具備する走査型プローブ顕微鏡であって、マクロなZ方向変動分を補正するZ方向補正手段を備え、該Z方向補正手段は前記Z方向変動分を補償するX,Y方向の位置に対するZ方向の補正データに基づいてZ方向スキャナーの駆動量を補正することを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/10 , G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 13/10 B , G01B 21/30

Fターム (28件)：

2F069AA54 , 2F069AA60 , 2F069DD08 , 2F069DD12 , 2F069DD22 , 2F069EE11 , 2F069EE22 , 2F069FF01 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069GG15 , 2F069GG35 , 2F069GG39 , 2F069GG52 , 2F069GG56 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069JJ04 , 2F069JJ19 , 2F069JJ25 , 2F069LL03 , 2F069MM01 , 2F069MM24 , 2F069MM32 , 2F069NN00 , 2F069PP02 , 2F069QQ05

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-358414 出願人：オリンパス光学工業株式会社
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-046385 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-152845

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