サーミスタ流速センサーおよび液体用流量センサー

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東辰雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260894
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146026
出願日： 1994年10月03日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】サーミスタ流速センサーであって、小型で、熱応答性に優れ、測定精度の高い、安価なものを提供する。また、比熱の大きな液体特に水の流量を測定するのに適した液体用流量センサーを提供する。【構成】 10はアルミナ、SiO2などの平板状の基板で、11は発熱体であり、両端に電極12,17を備え、基板10の一面上に形成している。また、13は絶縁体であり、発熱体11の上に全面を覆うように形成されている。14はサーミスタであり、絶縁体13の上面に形成されており、このサーミスタ14は上下に電極15,16を備え、発熱体11よりはみ出ない範囲の大きさで形成する。発熱体11は、ニクロム、(Ni-Cr)合金或はサーメット材料(Ta-SiO2,Cr-SiO2)等の材料を用い、スパッターやCVDなどの成膜法により形成されている。

請求項（抜粋）：

【請求項01】発熱体と、該発熱体の温度を検出するサーミスタを具備したサーミスタ流速センサーであって、前記発熱体と前記サーミスタとを面状としたサーミスタ流速センサー。【請求項02】請求項1に記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体がニクロム合金又はサーメット材料からなり、前記サーミスタがスピネル型遷移金属酸化物又は炭化シリコン又はシリコン等のNTC材料からなるサーミスタ流速センサー。【請求項03】請求項1又は2に記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体と前記サーミスタがスパッター、CVD等の成膜法により形成されるサーミスタ流速センサー。【請求項04】請求項1又は2に記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体と前記サーミスタがそれぞれの成分を含有するペーストを印刷する等の厚膜プロセスにより形成されるサーミスタ流速センサー。【請求項05】請求項1乃至4のいずれかに記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体と前記サーミスタが1つの基板上に配置されることを特徴とするサーミスタ流速センサー。【請求項06】請求項5に記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体と前記サーミスタが1つの基板の一面に配置されることを特徴とするサーミスタ流速センサー。【請求項07】請求項5に記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記基板の一面に前記発熱体を配置し、該発熱体の上に絶縁層を介して前記サーミスタが積層されることを特徴とするサーミスタ流速センサー。【請求項08】請求項1乃至4のいずれかに記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体の一面に絶縁層を介して前記サーミスタが積層されるサーミスタ流速センサー。【請求項09】請求項3乃至8のいずれかに記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体と前記サーミスタに接続される電極が前記成膜法又は前記厚膜プロセスにより形成されるサーミスタ流速センサー。【請求項10】請求項1乃至9のいずれかに記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体と前記サーミスタを密封する容器内に封入し、該容器の外面に配線用の接続端子を設けたことを特徴とするサーミスタ流速センサー。【請求項11】請求項10に記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記発熱体および前記サーミスタと前記接続端子がFPCで接続されることを特徴とするサーミスタ流速センサー。【請求項12】請求項10又は11に記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記基板又は前記発熱体を前記容器の内壁面に固定したことを特徴とするサーミスタ流速センサー。【請求項13】請求項12に記載のサーミスタ流速センサーにおいて、前記基板又は前記発熱体が半田層を介して前記容器の前記内壁面に固定されたことを特徴とするサーミスタ流速センサー。【請求項14】発熱体、この発熱体の近傍に配置した測温素子、およびこれらを覆うカバーを備えた傍熱型の液体用流量センサーにおいて、熱伝導率および電気絶縁性が高い基板を具備し、発熱体および測温素子はこの基板上に形成されたものであり、カバーはこれらが形成された側と反対側の基板面に接着しているとともにこの接着部分の外側において流量が測定される液体に接するものであることを特徴とする液体用流量センサー。【請求項15】カバーは熱伝導率が良く、かつ流量が測定される液体に対する耐食性の良い金属で構成されたものであり、またカバーの形状および大きさは前記発熱体の形状および大きさにほぼ等しいことを特徴とする請求項14記載の液体用流量センサー。【請求項16】前記液体に接する側と反対側を覆う断熱材を有することを特徴とする請求項14記載の液体用流量センサー。

IPC (2件)：

G01P 5/10 , G01F 1/68

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-085723
熱式流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-255949 出願人：株式会社村田製作所
特開平4-218777

全件表示

前のページに戻る