特許
J-GLOBAL ID：200903091143563996
プラズマ生成用ホローカソード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342450
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158822
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 ホローカソード放電によって金属を溶融ないしは蒸発させるためのプラズマ生成用のホローカソードにおいて、使用している熱電子放出材料LaB6の円筒が放電中に亀裂や剥離、脱落を生ずることなく、長時間にわたって安定な放電が可能なホローカソードを提供すること。【解決手段】 LaB6 の顆粒を分散相48とし、焼結用としてのTa高融点金属の微粒子を分散媒49として焼結して形成される内層としてのLaB6 複合物円筒41を、Taパイプ36の下端部(先端部)の内周側をくり抜いた箇所へ挿嵌し、その下端に開口38を備えたTaキャップ39をかぶせ溶接固定してホローカソード47とする。このようなホローカソード47は放電によっても熱電子放出材料LaB6 に亀裂や剥離が発生せず、放電が長時間にわたって安定に維持される。
請求項（抜粋）：
ホローカソード放電による金属の溶融ないしは蒸発に使用するための、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン)またはW(タングステン)の中の何れかからなる外層と、仕事関数が小さい熱電子放出材料であるLaB6 (硼化ランタン)からなる内層とによって構成される円筒状のプラズマ生成用ホローカソードであって、前記内層が前記LaB6 の顆粒を分散相とし、焼結用高融点金属の微粒子または焼結用硼化金属の微粒子を分散媒として焼結して形成されるLaB6 複合物円筒であることを特徴とするプラズマ生成用ホローカソード。
引用特許：
引用文献：
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