特許

J-GLOBAL ID：200903091190606075

測定スペクトルから真のスペクトルを決定する方法

発明者： レーフマン,デルク ,  レイ,ウィリアム イェー イェー ,  ヤンセン,オウヒュステュス イェー エー エム
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-503085
公開番号（公開出願番号）：特表2003-502622
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2003年01月21日
要約：

【要約】最大エントロピーアルゴリズムを使用して測定スペクトルから真のスペクトルを決定する際に、大規模次元のN×N型行列(Nの次数は104乃至105)の固有値を決定することは、殆ど実際的ではなく、或いは、場合よっては全く実際的でない。本発明によれば、このような大型行列は、大型行列の対角又は主対角上にある多数の非常に小さい部分行列に分割される。決定されるべき固有値の組は、より高速に決定することができる全ての部分行列の固有値により構成される。部分行列のToeplitz特性のため、これらの固有値は、部分行列の単一行のフーリエ変換を用いて非常に高速に決定され得る。かくして獲得された固有値の集合を使用すると、真のスペクトルは、最小化アルゴリズムを用いることによって決定される。最小化アルゴリズムの収束速度は、ランダムノイズを最小化プロセスの変数に付加し、そのランダムノイズ値を多数の反復ステップにおいて零に減少させることによって著しく改善される。

請求項（抜粋）：

検査されるべき被検査対象物によって放出される放射線の真のスペクトルfは、N個のデータ点f1,...,fNの組によって表現され、測定スペクトルhから決定され、 上記測定スペクトルhは、M個の測定点h1,...,hMの組によって表現され、M×N型行列の形式の所与の装置伝達関数Gを有する分析装置を用いて測定され、 N個のデータ点g1,...,gNの近似的な真のスペクトルを形成する手順(a)と、 装置伝達関数Gで畳み込まれた近似的な真のスペクトルと、測定スペクトルの間の不一致度の測定量χ2を決定する手順(b)と、 所定の正規化関数Sに近似的な真のスペクトルを代入することによってこの所定の正規化関数Sの値を決定する手順(c)と、 正規化定数αを含む関数F=χ2+αSを形成する手順(d)と、 関数F、装置伝達関数から形成されたN×N型補助行列AのN個の固有値λ1,...,λN、及び、同時に決定される近似された真のスペクトルから正規化定数αを解法する手順(e)と、 得られた正規化定数αを含む関数Fに関する最小化処理を、真のスペクトルのN個のデータ点を変数として用いて実行し、次の近似的な真のスペクトルを構成するN個のデータ点を獲得する手順(f)と、 所定の収束規準が充たされるまで、上記手順(b)から手順(f)までを繰り返す手順(g)と、 近似的な真のスペクトルが求めている近似的な真のスペクトルとして有効であると認定する手順(h)と、を含む、測定スペクトルから真のスペクトルを決定する方法であって、 N×N型補助行列AのN個の固有値λ1,...,λNを決定するため、補助行列Aが、補助行列Aの対角の周辺に存在する多数のL個の部分補助行列Pj(j=1,...,L)に分割され、 各部分補助行列Pjの固有値が別々に決定され、 N×N型補助行列Aの固有値λ1,...,λNが部分補助行列Pjの全固有値の組により構成されることを特徴とする、方法。

IPC (2件)：

G01N 23/207 ,  G06F 17/16

FI (2件)：

G01N 23/207 ,  G06F 17/16 K

Fターム (9件)：

2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001SA02 ,  5B056BB42 ,  5B056HH00 ,  5B056HH01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 構造パラメータ解析装置及び解析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-289779   出願人：三菱重工業株式会社
• 多様な行列格納法を使用可能な連立方程式の並列処理装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-016105   出願人：富士通株式会社, ジオーストラリアンナショナルユニバシティー