静電容量型センサ装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小玉秀男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-211099
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028741
出願日： 2001年07月11日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】静電容量型センサ装置の生産時の歩留まりの向上、あるいは使用中の信頼性を向上させる。【解決手段】静電容量型センサ装置100は、可動電極と固定電極からなる物理量検出用キャパシタ群121〜124を有する静電容量型センサ120と、センサ出力を装置出力に変換する静電容量検出回路140と、センサ出力の異常を判断する判定回路170と、異常と判断されたキャパシタと静電容量検出回路140との間を非接続状態に切換えて他のキャパシタと静電容量検出回路140との間を接続状態に切換える制御回路110を備えている。

請求項（抜粋）：

可動電極と固定電極からなる物理量検出用キャパシタ群を有する静電容量型センサと、センサ出力を装置出力に変換する変換手段とを備え、各キャパシタと変換手段との間の接続・非接続状態が切換え可能な静電容量型センサ装置。

IPC (3件)：

G01L 13/06 , G01P 15/125 , G01R 27/26

FI (3件)：

G01L 13/06 C , G01P 15/125 , G01R 27/26 C

Fターム (13件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD20 , 2F055EE25 , 2F055FF43 , 2F055FF49 , 2F055GG31 , 2G028AA02 , 2G028BE10 , 2G028CG07 , 2G028DH06 , 2G028FK01

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-232436
静電容量型圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-000149 出願人：富士電機株式会社
特開平3-042539

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