特許

J-GLOBAL ID：200903091231551442

イオン・プラズマ型電子銃とその製造方法

発明者： 末澤 宏樹 ,  熊田 幸生
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137107
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332898
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 プラズマを用い、2次電子を窓を通して大気中に取り出すイオン・プラズマ型電子銃とその製造方法に関し、プラズマによってスパッタされ難く、かつ窓箔を良好に冷却することのできる窓支持体を備えたイオン・プラズマ型電子銃を提供することである。【解決手段】 多数の開口部を有するグリッドと、前記グリッドの一方の側に配置され、内部に2次電子放出用のカソードを有する真空チェンバと、前記グリッドの他方の側に配置され、内部に陽極ワイヤを有するプラズマチェンバであって、良熱伝導率の金属で形成され、冷媒通路を有し、前記グリッドと対向する部分に多数の窓孔を有する窓支持体と、前記窓支持体のプラズマにさらされる表面上に形成された低スパッタ率の金属被覆とを含むプラズマチェンバと、前記窓支持体の外側に接して配置され、前記多数の窓孔を気密に封止する窓箔とを有する。

請求項（抜粋）：

多数の開口部を有するグリッドと、前記グリッドの一方の側に配置され、内部に2次電子放出用のカソードを有する真空チェンバと、前記グリッドの他方の側に配置され、内部に陽極ワイヤを有するプラズマチェンバであって、良熱伝導率の金属で形成され、冷媒通路を有し、前記グリッドと対向する部分に多数の窓孔を有する窓支持体と、前記窓支持体のプラズマにさらされる表面上に形成された低スパッタ率の金属被覆とを含むプラズマチェンバと、前記窓支持体の外側に接して配置され、前記多数の窓孔を気密に封止する窓箔とを有するイオン・プラズマ型電子銃。

IPC (3件)：

G21K 5/04 ,  H01J 33/04 ,  H01J 37/073

FI (3件)：

G21K 5/04 E ,  H01J 33/04 ,  H01J 37/073

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子線照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-024876   出願人：三菱重工業株式会社
• 電子線照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-186691   出願人：岩崎電気株式会社