防振装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-146869
公開番号（公開出願番号）：特開平8-312715
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：

【要約】【目的】より低コストで調整の容易な防振装置を提供する。また、ボイスコイルモータが発生する逆起電力に基づいてダンピングを付与する際の特性劣化を改善する。【構成】除振台4の振動を抑圧するためのボイスコイルモータ19と、このボイスコイルモータに発生する逆起電力を検出する逆起電力検出手段29,rとを備え、この逆起電力に基づいて前記除振台の振動を抑圧すべく前記ボイスコイルモータを駆動する防振装置において、前記除振台が設置された床の振動を計測する加速度センサ26を備え、この加速度センサの出力にも基づいて前記ボイスコイルモータを駆動する。また、除振台を支持する空気バネ2のアクチュエータおよび除振台の位置をフィードバックさせて除振台を所定の目標位置13に維持すべく空気バネの駆動制御を行なう手段3,10〜14,1を有する。

請求項（抜粋）：

除振台を支持する空気バネのアクチュエータと、前記空気バネへの作動流体を給気・排気するためのサーボバルブと、前記除振台の移動距離を計測する位置センサと、前記位置センサの出力信号と目標電圧とを比較する比較回路と、前記比較回路の出力に応動して補償信号を生成するPI補償器と、前記PI補償器の出力に応動して前記サーボバルブの弁開閉を行わせる電圧電流変換器と、前記除振台の振動を抑圧するためのボイスコイルモータと、前記除振台の振動を計測する第1の加速度センサと、前記第1の加速度センサの出力信号に対して所定のフィルタリングを行う前置フィルタと、前記前置フィルタの出力信号を積分するための積分補償器と、前記ボイスコイルモータの両端電圧と通電電流を検出した電圧とを入力信号として前記ボイスコイルモータに発生する逆起電力を検出するための逆起電力検出回路と、前記積分補償器の出力信号と前記逆起電力検出回路の負帰還信号とを加算した信号に応動して前記ボイスコイルモータを駆動する電力増幅器と、前記除振台を設置する床の振動を計測する第2の加速度センサと、前記第2の加速度センサの出力信号に対するフィルタリングを行うフィルタと、前記フィルタの出力信号を受けて床の振動が前記除振台の振動におよぼす影響を軽減ないし排除するための信号を生成して前記電力増幅器の前段にフィードフォワードするための床振動フィードフォワード補償器とを備えたことを特徴とする防振装置。

IPC (5件)：

F16F 15/02 , F16F 15/04 , G05D 19/02 , G12B 9/08 , H01L 21/027

FI (5件)：

F16F 15/02 A , F16F 15/04 A , G05D 19/02 D , G12B 9/08 B , H01L 21/30 503 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

防振装置及びその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-147467 出願人：住友電気工業株式会社
特開平4-019438
ステージ制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-232261 出願人：キヤノン株式会社

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