特許
J-GLOBAL ID：200903091257280676
マスク検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321062
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131887
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、マスクの検査を行うマスク検査装置に関し、マスクがチャンバーに搬送される直前のサブチャンバーでプラズマを発生させて静電気の除去を行った後にチャンバーに搬入し、マスクなどの静電気を除去してドリフトがなくかつコントラスト変動のない良質の画像の生成を実現することを目的とする。【解決手段】 マスクを大気中から搬送して予備排気するサブチャンバーと、予備排気されたサブチャンバーに設けてプラズマを発生させて当該サブチャンバーに搬送されているマスク上の電荷を中和するプラズマ発生装置と、マスク上の電荷を中和した後に、当該マスクを上記サブチャンバーからチャンバーに搬送して観察位置に設定する搬送手段とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
マスクの検査を行うマスク検査装置において、マスクを大気中から搬送して予備排気するサブチャンバーと、上記予備排気されたサブチャンバーに設けてプラズマを発生させて当該サブチャンバーに搬送されているマスク上の電荷を中和するプラズマ発生装置と、上記マスク上の電荷を中和した後に、当該マスクを上記サブチャンバーからチャンバーに搬送して観察位置に設定する搬送手段とを備えたことを特徴とするマスク検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/08 S
, H01J 37/20 H
2H095BD02
, 2H095BD14
, 5C001AA07
, 5C001BB07
, 5C001CC04
