アクティブマトリクス基板、その製造装置、及び表示デバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：前田弘 , 竹内祐二 , 米田圭啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-002370
公開番号（公開出願番号）：特開2005-303262
出願日： 2005年01月07日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】静電気によるTFT20の絶縁破壊及び長期の蓄積電荷不良を防止すると共に、プラスチック基板11に生じる伸縮や反りを抑制する。【解決手段】アクティブマトリクス基板10は、プラスチック材料により構成された基板11と、基板11の片面側にマトリクス状に配置され、信号配線に接続された複数のTFT20とを備えている。そして、基板11の両面には、無機絶縁膜12が設けられている。さらに、基板11におけるTFT20が配置されていない面側には導電性膜13が設けられ、上記導電性膜13は接地されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラスチック材料により構成された基板と、上記基板の片面側にマトリクス状に配置され、信号配線に接続された複数の能動素子とを備えるアクティブマトリクス基板であって、上記基板における上記能動素子が配置されていない面側に設けられた導電性膜と、上記基板の両面又は片面に設けられた無機膜とを備えていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。

IPC (5件)：

H01L29/786 , G02F1/13 , G02F1/1333 , G09F9/00 , G09F9/30

FI (7件)：

H01L29/78 626C , G02F1/13 101 , G02F1/1333 500 , G02F1/1333 505 , G09F9/00 338 , G09F9/30 310 , H01L29/78 623A

Fターム (61件)：

2H088FA17 , 2H088FA29 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 2H090HA01 , 2H090HB03X , 2H090HB04X , 2H090HB06X , 2H090HC01 , 2H090HC16 , 2H090HC18 , 2H090HD01 , 2H090JA06 , 2H090JA07 , 2H090JB03 , 2H090JC07 , 2H090JD13 , 2H090LA04 , 5C094AA31 , 5C094AA36 , 5C094AA38 , 5C094AA42 , 5C094EA10 , 5C094EB10 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094GB10 , 5F110AA14 , 5F110AA22 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110DD18 , 5F110DD19 , 5F110EE03 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG24 , 5F110GG45 , 5F110HK03 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK25 , 5F110HK35 , 5G435AA13 , 5G435AA14 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435HH12 , 5G435KK10

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-273166号公報
基板搬送用治具及びそれを用いた液晶表示素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-302493 出願人：シャープ株式会社

審査官引用 (4件)

アクティブマトリクス基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-081852 出願人：シャープ株式会社
薄膜トランジスタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-069911 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
表示装置およびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-056031 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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