特許
J-GLOBAL ID：200903091305730395

スリットコータの予備吐出装置および予備吐出方法

発明者：
永澤 耕一

永澤 耕一 について

, 
寺本 和真

寺本 和真 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-133063
公開番号（公開出願番号）：特開2001-310147
出願日： 2000年05月02日
公開日（公表日）： 2001年11月06日
要約：
【要約】【課題】 洗浄液の槽にノズル部を浸漬して吐出ノズルを洗浄する場合におけるノズル先端部の洗浄液の付着や濃度の異なる塗布液の付着を防止する。【解決手段】 予備吐出装置Pは、塗布作業の合間の待機状態で塗布に先立って使用され、塗布エレメント21内の塗布液を塗布直前に予め吐出する動作を、回転するローラ33上へ余分な塗布液L2を付着させながら行なう。この予備吐出動作では、塗布エレメント21の吐出口22をローラ33の周面に表面張力がキャンセルされる程度まで近接させて、吐出口22からの塗布液L2を前記ローラ33の周面に付着させ、ローラ33が回転することにより塗布液L2を引き出し、この塗布液L2を洗浄して除去する。
請求項（抜粋）：
スリット状の吐出ノズルが形成されたスリットコータの予備吐出を行う装置において、この予備吐出装置は洗浄液を保持する洗浄槽と、この洗浄槽に水平に配置されるとともにその下部が洗浄槽内の洗浄液に浸漬し、少なくとも上端面が前記スリットコータの吐出ノズルが接近し得るように露出する回転ローラと、この回転ローラの表面に付着した吐出ノズルからの塗布液を取り除くべく回転ローラの表面に向かって洗浄液を噴出するシャワーノズルとを備えることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
IPC (6件)：
B05C 5/02 ,  B05B 15/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/08
FI (6件)：
B05C 5/02 ,  B05B 15/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 Z ,  B08B 3/02 A ,  B08B 3/08 Z
Fターム (20件)：
3B201AA02 ,  3B201AB01 ,  3B201AB33 ,  3B201BB22 ,  3B201BB33 ,  3B201BB82 ,  3B201BB95 ,  3B201CB01 ,  3B201CD22 ,  4D073BB03 ,  4D073CC10 ,  4D075AC04 ,  4D075DA10 ,  4D075DC15 ,  4F041AA01 ,  4F041AB01 ,  4F041BA60 ,  4F042AA03 ,  4F042CC04 ,  4F042CC08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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