特許
J-GLOBAL ID：200903091306590759

多機能X線分析システム

発明者：
ボリス ヨクヒン

ボリス ヨクヒン について

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アレキサンダー クロクーマル

アレキサンダー クロクーマル について

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トザチ ラファエリ

トザチ ラファエリ について

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イサク マゾル

イサク マゾル について

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アモス ギヴァートズマン

アモス ギヴァートズマン について


出願人/特許権者：
ジョルダン バレー アプライド ラディエイション リミテッド

ジョルダン バレー アプライド ラディエイション リミテッド について


代理人 (3件)： 細井 貞行 ,  石渡 英房 ,  中村 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-274293
公開番号（公開出願番号）：特開2006-138837
出願日： 2005年09月21日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】一台の装置で、小角散乱、X線回折、反射率測定等を容易に行える装置を提供する。【解決手段】試料分析装置は、第1のX線収束ビームを試料表面に向け、第2のX線平行ビームを試料表面に向けるように構成された照射源を含む。動作アセンブリは、照射源を、X線が試料表面にかすめ角で向けられる第1の光源位置と、X線が表面に試料のブラッグ角近傍で向けられる第2の光源位置との間で移動させる。検出素子アセンブリは、照射源が、第1および第2の光源構成のいずれか、および第1および第2の光源位置のいずれかにあるときに、試料から散乱したX線を角度の関数として感知する。信号処理部は、検出素子アセンブリからの出力信号を受けてこれを処理し、試料の特性を判定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料分析装置であって、 第1のX線収束ビームを試料表面に向け、第2のX線平行ビームを前記試料表面に向けるように構成された照射源と、 前記照射源を、前記X線が前記照射源から前記試料表面にかすめ角で向けられる第1の光源位置と、前記X線が前記照射源から前記試料表面に前記試料のブラッグ角近傍で向けられる第2の光源位置との間で移動させるように動作する動作アセンブリと、 前記照射源が、前記第1および第2の光源構成のいずれか、および前記第1および第2の光源位置のいずれかにあるときに、前記試料から散乱した前記X線を角度の関数として感知し、前記散乱したX線に応答して出力信号を生成するように構成された検出素子アセンブリと、 前記出力信号を受けてこれを処理し、試料の特性を判定するように結合された信号処理部とを備える、試料分析装置。
IPC (4件)：
G01N 23/201 ,  G01N 23/207 ,  G01B 15/02 ,  G21K 1/06
FI (5件)：
G01N23/201 ,  G01N23/207 ,  G01B15/02 D ,  G21K1/06 G ,  G21K1/06 B
Fターム (48件)：
2F067AA27 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK08 ,  2F067KK09 ,  2F067LL03 ,  2F067LL15 ,  2F067MM01 ,  2F067NN05 ,  2F067NN09 ,  2F067PP04 ,  2F067PP05 ,  2F067UU03 ,  2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001AA10 ,  2G001BA14 ,  2G001BA18 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001CA10 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001EA02 ,  2G001EA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA04 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001KA04 ,  2G001KA08 ,  2G001KA11 ,  2G001LA02 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA07 ,  2G001PA12 ,  2G001SA01 ,  2G001SA04 ,  2G001SA10
引用特許：
出願人引用 (14件)
  • 米国特許第5,619,548号
  • 米国特許公開第2004/0109531A1号
  • 米国特許公開第2004/0131151A1号
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審査官引用 (7件)
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