特許
J-GLOBAL ID：200903062152615044
小角散乱測定を含むX線反射率測定
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河宮 治
, 石野 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-035270
公開番号（公開出願番号）：特開2004-245840
出願日： 2004年02月12日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】 X線反射率と小角X線散乱とを組み合わせた測定を試料に行う方法及びシステムを提供する。【解決手段】 試料の検査用装置は、放射線源と、放射線源による表面の領域の照射に起因する表面からの放射線を受け取るために配置された検出素子アレイと、を有する。上記アレイが、表面に垂直な第1軸に沿って受け取られた放射線を分析する第1の作動上の配置と、表面に平行な第2軸に沿って受け取られた放射線を分析する第2の作動上の配置と、を有する。信号処理装置は、表面に対する仰角に応じた表面の反射率と、表面の平面における方位角に応じた表面の散乱プロファイルと、を決定するために、2つの配置において検出器アレイからの信号を処理する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料の検査用装置において、
試料の表面上の領域を照射するのに適した放射線源と、
放射線源による上記領域の照射に起因する表面からの放射線を受け取るように、また、受け取られた放射線に反応する信号を発生させるように配置される検出素子アレイであって、表面に垂直な第1軸に沿って受け取られた放射線を分析する第1の作動上の配置、及び表面に平行な第2軸に沿って受け取られた放射線を分析する第2の作動上の配置をとる上記アレイを有する検出器アセンブリと、
表面に対する仰角に応じて表面の反射率を決定すべく第1の作動上の配置の検出器アセンブリからの信号を処理するために、また、表面の平面における方位角に応じて表面の散乱プロファイルを決定すべく第2の作動上の配置の検出器アセンブリからの信号を処理するために連結される信号処理装置と、を有することを特徴とする試料の検査用装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2G001AA01
, 2G001BA15
, 2G001CA01
, 2G001DA08
, 2G001DA09
, 2G001GA13
, 2G001JA04
, 2G001KA04
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA02
, 2G001SA02
, 2G001SA04
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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X線評価装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-242331
出願人：株式会社リコー
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X線評価装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-237704
出願人：株式会社リコー
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X線評価装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-211168
出願人：株式会社リコー
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