感光性ポリイミド前駆体用現像液

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-061331
公開番号（公開出願番号）：特開平7-271053
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【構成】双極性非プロトン性極性溶剤60〜85重量%とエステル5〜30重量%と水5重量%以上10重量%未満とからなる感光性ポリイミド前駆体用現像液。【効果】現像液の温度低下や温度ムラがないため、スプレー現像やパドル現像を現像ムラなどを生じることなく良好に安定して行うことができる。また、安全性、貯蔵性、作業性からも使用しやすい感光性ポリイミド前駆体用の現像液を提供できる。

請求項（抜粋）：