特許
J-GLOBAL ID:200903091372878526

熱処理炉、および熱処理炉のガス供給方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-139109
公開番号(公開出願番号):特開2002-333283
出願日: 2001年05月09日
公開日(公表日): 2002年11月22日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 被熱処理物の温度バラツキや特性バラツキを抑えることができる熱処理炉を提供する。【解決手段】 炉本体2と、炉本体下部に設けられた炉床と、炉床に載置され被熱処理物を収納する匣4と、炉本体内部に設けられたヒータ5と、炉本体に配設されたガス排気管6と、炉本体の側壁と前記匣との間に形成される環状空間Sに配設されたガス供給管7とを備える熱処理炉において、ガス供給管のガス吐出口7aを、環状空間の周回方向に向かって開口するように設け、環状空間を循環するガス循環流を形成する。
請求項(抜粋):
炉本体と、前記炉本体下部に設けられた炉床と、前記炉床に載置され被熱処理物を収納する匣と、前記炉本体内部に設けられたヒータと、前記炉本体に配設されたガス排気管と、前記炉本体の側壁と前記匣との間に形成される環状空間に配設されたガス供給管とを備える熱処理炉であって、前記ガス供給管に設けられたガス吐出口は、前記環状空間の周回方向に向かって開口していることを特徴とする熱処理炉。
IPC (4件):
F27D 7/02 ,  B01J 4/00 102 ,  C04B 35/64 ,  F27B 17/00
FI (4件):
F27D 7/02 A ,  B01J 4/00 102 ,  F27B 17/00 B ,  C04B 35/64 A
Fターム (15件):
4G068AA01 ,  4G068AC01 ,  4G068AD18 ,  4G068AD39 ,  4G068AD49 ,  4G068AF12 ,  4K063AA05 ,  4K063AA12 ,  4K063AA15 ,  4K063BA04 ,  4K063BA12 ,  4K063CA03 ,  4K063DA14 ,  4K063DA15 ,  4K063DA28
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • ウェーハ熱処理炉
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-314610   出願人:コマツ電子金属株式会社, 株式会社小松製作所
  • 特開昭50-114354
  • 酸化チタン結晶の導電性材料の製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-268866   出願人:株式会社豊田中央研究所
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