特許
J-GLOBAL ID:200903091444095319
真空ポンプの軸シール構造
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-151612
公開番号(公開出願番号):特開2003-343472
出願日: 2002年05月24日
公開日(公表日): 2003年12月03日
要約:
【要約】【目的】本発明は半導体製造工程等の反応性ガスを流す工程で使用するロータを持つ真空ポンプにおいて、ロータをハウジングに回転自在に固定するための軸受が反応性ガスにより腐蝕されたり、反応性ガスにより生成された生成物が付着しないようにする軸シール構造を提供することを目的とする。【手段】端部を軸受で回転自在に固定されたロータを持ち、該ロータを収納するケーシングを具備し、該ケーシングは、吸込ポート及び吐出ポートを備えている真空ポンプにおいて、前記軸受へ不活性ガスを送るための通気路を軸受近傍部に設け、前記不活性ガスの流量又は/及び圧力を制御する機能を備え、さらに、前記不活性ガスを昇温させる機能を備える。
請求項(抜粋):
端部を軸受で回転自在に固定されたロータを持ち、該ロータを収納するケーシングを具備し、該ケーシングは、吸込ポート及び吐出ポートを備えている真空ポンプにおいて、前記軸受へ不活性ガスを送るための通気路を設けたことを特徴とする真空ポンプ。
IPC (4件):
F04C 29/00
, F04C 18/16
, F04C 25/02
, F04C 29/04
FI (4件):
F04C 29/00 E
, F04C 18/16 Z
, F04C 25/02 M
, F04C 29/04 C
Fターム (13件):
3H029AA03
, 3H029AA17
, 3H029AB06
, 3H029BB13
, 3H029BB42
, 3H029BB44
, 3H029BB47
, 3H029BB50
, 3H029CC02
, 3H029CC17
, 3H029CC38
, 3H029CC46
, 3H029CC61
引用特許: