特許

J-GLOBAL ID：200903091468753104

表面弾性波素子用ダイヤモンド基材と素子及びその製造方法

発明者： 桧垣 賢次郎 ,  中幡 英章 ,  藤井 知 ,  北林 弘之 ,  鹿田 真一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 上代 哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-011808
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205340
出願日： 1996年01月26日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 ダイヤモンド層を用いた表面弾性波フィルター素子が高周波領域で良好なフィルター特性を持つものとする。【解決手段】 Si基板1上に窒素添加したダイヤモンド層2を成長させ、その上にAl櫛型電極5及び圧電体層3を形成させた。このようにダイヤモンド層中に窒素を添加した基材7は、10μm以下の短い波長や5μm以下の特に短い波長でも伝播損失が小さく、また、1GHz以上の高い周波数や2GHz以上の特に高い周波数でも伝播損失の小さいものとなる。

請求項（抜粋）：

シリコン等の基板の上にダイヤモンド層を有する表面弾性波素子用ダイヤモンド基材において、該ダイヤモンド層に窒素が添加されていることを特徴とする表面弾性波素子用ダイヤモンド基材。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 3/08

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 3/08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-222475   出願人：住友電気工業株式会社
• ダイヤモンドの合成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-327090   出願人：住友電気工業株式会社