半導体ガスセンサーを用いた混合ガス測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-229906
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072871
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】半導体ガスセンサーを用いて混合ガスの成分ガス濃度を測定することを可能とする。【解決手段】ガス種に対する選択性を有しない市販の半導体ガスセンサー10のヒーター11に関数発生器21から周波数の異なる複数のヒーター電流を順次流し、その時の半導体ガスセンサーの出力をそれぞれ高速デジタル化フーリエ変換手段32でパワースペクトルに変換し、そのスペクトル成分をニューラルネットワーク34に入力する。パワースペクトルと雰囲気混合ガス中の成分ガス濃度の関係をニューラルネットワーク34で学習することで、混合ガスの成分ガス濃度を高精度に推定する。

請求項（抜粋）：

ヒーター及び出力端子を備える半導体ガスセンサーに周波数の異なる複数のヒーター電流を流し、異なる周波数のヒーター電流を流したときに夫々出力端子から得られる複数の出力に基づいて混合ガス中の成分ガス濃度を測定することを特徴とする混合ガス測定方法。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , G06F 15/18 550

FI (2件)：

G01N 27/12 B , G06F 15/18 550 Z

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-123842
ガス検出システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-262958 出願人：フィガロ技研株式会社
ガス検出システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143586 出願人：フィガロ技研株式会社

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