露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤元亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-050127
公開番号（公開出願番号）：特開2006-237291
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：

【課題】投影光学系の最終レンズの汚染を防止すると共に、投影光学系の最終レンズと被処理体との間に常に安定して液体を保持し、優れた結像性能を実現する露光装置及び方法を提供する。【解決手段】レチクルのパターンの像を被処理体に投影する投影光学系と、前記投影光学系の最も前記被処理体側の最終面と前記被処理体との間に配置された平板部材と、前記平板部材を、少なくとも前記投影光学系の光軸に垂直な方向に駆動可能に保持する保持機構とを有し、前記最終面と前記平板部材との間を満たす第1の液体、前記平行部材、及び前記平板部材と前記被処理体との間を満たす第2の液体を介して、前記被処理体を露光することを特徴とする露光装置を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レチクルのパターンの像を被処理体に投影する投影光学系と、前記投影光学系の最も前記被処理体側の最終面と前記被処理体との間に配置された平板部材と、前記平板部材を、少なくとも前記投影光学系の光軸に垂直な方向に駆動可能に保持する保持機構とを有し、前記最終面と前記平板部材との間を満たす第1の液体、前記平行部材、及び前記平板部材と前記被処理体との間を満たす第2の液体を介して、前記被処理体を露光することを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/30 515D , H01L21/30 518

Fターム (3件)：

5F046BA05 , 5F046CB19 , 5F046DA07

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭63-49893号公報
国際公開第99/49504号パンフレット
液浸式投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-296518 出願人：キヤノン株式会社

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