X線異物検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西村教光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-334996
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139723
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】透過画像データを含む画像処理領域を分割して複数の被検査物の同時検査を可能として検査時間の短縮化及び検査効率の向上を図る。【解決手段】 X線異物検出装置1は、複数の被検査物Wa,WbにX線を曝射し、このX線の曝射に伴って各被検査物を透過してくるX線の透過量から各被検査物Wa,Wb中の異物dの有無を検出する。画像処理部12は透過データTa,Tbを画像処理する。領域分割部14は画像処理された透過データTa,Tbが画像処理された画像処理領域Aを、透過データTa,Tbをそれぞれ含む予め設定された検査領域Aa,Abごとに分割する。判定部15は、分割された各検査領域Aa,Ab内の透過データTa,Tbに基づいて、被検査物Wa,Wbごとに異物の有無を判定する。

請求項（抜粋）：

複数の被検査物(Wa,Wb)にX線を曝射し、このX線の曝射に伴って前各記被検査物を透過してくるX線の透過量から前記各被検査物中の異物(d)の有無を検出するX線異物検出装置であって、前記各被検査物に対してX線を曝射するX線発生器(5)と、前記各被検査物を透過したX線の強さに対応した透過データ(Ta,Tb)を出力するX線検出器(6)と、前記透過データを画像処理する画像処理部(12)と、前記透過データが画像処理された画像処理領域(A)を、前記透過データをそれぞれ含む予め設定された検査領域(Aa,Ab)ごとに分割する領域分割部(14)と、前記分割された各検査領域内の透過データに基づいて、前記被検査物ごとに前記異物の有無を判定する判定部(15)と、を備えたことを特徴とするX線異物検出装置。

Fターム (14件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA08 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA09 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA01 , 2G001PA01 , 2G001PA03 , 2G001PA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-254848
特開平1-254848
微小な測定対象物を高速に分析できる分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-280720 出願人：株式会社アドバンテスト

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