特許
J-GLOBAL ID:200903091600082907
3次元測定機におけるワーク温度補正方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小林 脩
, 冨田 一総
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-080687
公開番号(公開出願番号):特開2005-265700
出願日: 2004年03月19日
公開日(公表日): 2005年09月29日
要約:
【課題】 ワーク温度を温度変化に応答性よく追従して正確に測定し、ワークの測定箇所の測定長さをワーク温度に応じて高精度に温度補正する。【解決手段】 ワークを3次元測定機の冶具に線形膨張が可能なように1点部分で固定する。ワークの少なくとも2個の基準箇所のX,Y,Z軸の座標値を3次元測定機のプローブの検出信号に基づいて測定し、該座標値に基づいてワーク座標系を設定する。ワークの測定箇所についてプローブの検出信号に基づいてX,Y,Z軸の座標値を読取り、放射温度計によりワークの表面温度を測定する。該座標値に基づいて測定箇所のワーク座標系における測定長さを演算する。ワーク温度と基準温度との差に基づいて測定箇所の測定長さを基準温度のワークにおける測定箇所の測定長さに温度補正する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
冶具に取付けられたワークに対してX,Y,Z軸方向に相対移動可能なプローブがワーク表面位置を検出して検出信号を送出したときのX,Y,Z軸の各座標値を読取ることによりワークの測定箇所の測定長さを測定する3次元測定装置において、前記ワークを前記冶具に線形膨張を許容して1点部分で固定し、前記プローブの検出信号に基づいて測定されたワークの少なくとも2個の基準箇所のX,Y,Z軸の座標値に基づいてワーク座標系を設定し、前記測定箇所について前記プローブの検出信号に基づいてX,Y,Z軸の座標値を読取り、前記放射温度計によりワークの表面温度を測定し、前記座標値に基づいて測定箇所のワーク座標系における測定長さを演算するとともに、前記ワーク表面温度と基準温度との差に基づいて測定箇所のワーク座標系における測定長さをワーク温度補正することを特徴とする3次元測定機のワーク温度補正方法。
IPC (3件):
G01B21/00
, G01D3/028
, G01D18/00
FI (3件):
G01B21/00 E
, G01D18/00
, G01D3/04 D
Fターム (20件):
2F069AA04
, 2F069EE02
, 2F069EE24
, 2F069GG01
, 2F069GG16
, 2F069GG52
, 2F069GG62
, 2F069HH01
, 2F069JJ08
, 2F069MM23
, 2F069NN00
, 2F069NN21
, 2F069PP01
, 2F075AA03
, 2F075EE14
, 2F075EE16
, 2F076AA18
, 2F076BA01
, 2F076BD07
, 2F076BD17
引用特許:
出願人引用 (9件)
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三次元測定機
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-360630
出願人:株式会社ミツトヨ
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座標位置決め装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-330611
出願人:レニショウメタロジィリミテッド
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特開昭63-027710
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審査官引用 (8件)
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座標位置決め装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-330611
出願人:レニショウメタロジィリミテッド
-
特開昭63-027710
-
特開昭52-120348
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