低シロキサン類環境試験装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：景山憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-273868
公開番号（公開出願番号）：特開2002-082040
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】試料に悪影響を与えるシロキサン類等の槽内発生ガスを効果的に除去する。【解決手段】恒温恒湿槽は、試験室1、空調区画2、この中に装備された加湿器3、冷却器4、加熱器5及び循環送風機6、空気循環系7、シロキサン類処理区画13内に装備された除湿機8及びシロキサン類吸着器9、等によって構成されている。【効果】循環空気を除湿機8で除湿してシロキサン類吸着器9に導入することにより、循環空気中の水分を吸着剤に凝縮・付着させず、吸着剤の吸着性能を良好に維持してシロキサン類を含む被処理ガスを吸着・除去し、試料に悪影響を与えない試験環境を提供する。

請求項（抜粋）：

加湿器を備えていて気体循環系によって気体を循環させ前記加湿器で被試験物に湿度環境条件を付与するように構成された環境試験装置において、前記気体循環系から循環される気体の少なくとも一部分を導入して除湿する除湿手段と該除湿手段から出た前記気体を導入して前記気体中に生成したシロキサン類を含む処理されるべき被処理ガスを吸着して前記気体循環系に排出するように構成されたガス吸着手段とを前記気体循環系における前記加湿器の上流側に設けたことを特徴とする環境試験装置。

Fターム (5件)：

2G050BA04 , 2G050CA02 , 2G050CA10 , 2G050EA02 , 2G050EC03

引用特許：

審査官引用 (3件)

恒温恒湿槽
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-307410 出願人：グラフテック株式会社
高度清浄空間
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-033172 出願人：高砂熱学工業株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-081300 出願人：株式会社ニコン

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