特許
J-GLOBAL ID：200903091658129075
セラミックス部品およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-339103
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167859
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】【課題】腐食性ガスに対して暴露されるセラミックスの部品を製造するのに際して、腐食性ガスへの暴露時のパーティクルの発生を抑制する。【解決手段】セラミックスの表面に対して少なくとも研削加工を施すことによって所定形状の加工品を得、この加工品を熱処理することによって、セラミックス部品を得る。好ましくは、加工品の加工面に、セラミックス内の粒子の加工面が露出しており、加工品を熱処理に供することによって、各粒子の各加工面のエッジを鈍化させる。また、セラミックスの焼結体の焼結温度をT0 としたとき、熱処理の温度をT0 以下、T0 -300°C以上とする。
請求項（抜粋）：
腐食性ガスに対して暴露されるセラミックス部品であって、このセラミックス部品がセラミックスの加工品からなっており、前記セラミックス部品の加工面に露出する粒子に加工面が形成されており、前記各粒子の加工面のエッジが前記粒子内の物質移動によって鈍化していることを特徴とする、セラミックス部品。
IPC (4件)：
C04B 41/80
, H01L 21/68
, C23F 15/00
, H01L 21/3065
C04B 41/80 A
, H01L 21/68 N
, C23F 15/00
, H01L 21/302 B
