特許
J-GLOBAL ID:200903091673027955

電気素子のピックアップ法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-064565
公開番号(公開出願番号):特開平7-273490
出願日: 1995年03月23日
公開日(公表日): 1995年10月20日
要約:
【要約】【目的】 チップ下面へのアクセスを著しく簡便にすると同時に、多数のチップを同時に処理して、保持器材用の材料と処理時間とを大幅に節減する。【構成】 第1操作段階で第2保持器9を電気素子4の上面にやはり着脱可能に固定し、しかも前記の第2保持器9と電気素子4との間の保持力を、第1保持器5と電気素子4との間の保持力よりも大きくなるようにし、第2操作段階で前記第1保持器5を電気素子4から分離し、かつ第3操作段階で電気素子4を、その下面部位を保持工具12により捕捉することによって、前記第2保持器9からピックアップする。
請求項(抜粋):
下面を第1保持器上に着脱可能に固定されている電気素子を保持工具によってピックアップする方法において、第1操作段階で第2保持器(9)を電気素子(4)の上面にやはり着脱可能に固定し、しかも前記の第2保持器(9)と電気素子(4)との間の保持力を、第1保持器(5)と電気素子(4)との間の保持力よりも大きくなるようにし、第2操作段階で前記第1保持器(5)を電気素子(4)から分離し、かつ第3操作段階で電気素子(4)の下面部位を保持工具(12)により捕捉することによって、該電気素子(4)を前記第2保持器(9)からピックアップすることを特徴とする、電気素子のピックアップ法。
IPC (4件):
H05K 13/02 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/301
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平3-159197
  • ペレット分離方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-073824   出願人:ローム株式会社
  • コレットおよび半導体装置の製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-085793   出願人:株式会社東芝
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