特許
J-GLOBAL ID:200903091771439099

疵検査装置用校正ロールの調整方法および疵検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢葺 知之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-158922
公開番号(公開出願番号):特開2002-350356
出願日: 2001年05月28日
公開日(公表日): 2002年12月04日
要約:
【要約】【課題】 高精度かつ容易に校正ロールを調整することができる疵検査装置用校正ロールの調整方法および疵検査装置を提供する。【解決手段】 板状の被検査材Sを支持ロール1に巻き掛け、被検査材表面を照明し、撮像装置19で被検査材表面を撮像して表面疵を検査する疵検査装置10で、撮像条件を調整するための調整シートを取り付けた校正ロール35の位置を調整する方法において、支持ロール1に取り付けた調整シートに対して斜め上方および斜め下方から参照光を照射してロール軸方向に間隔をおいた参照マークを調整シートの両端部に形成し、各参照マークが調整シートの基準線上に位置するように参照光の照射方向を調整して維持し、校正ロール35の調整シートに参照光を照射して基準線上に参照マークが位置するように校正ロール35の位置を調整する。
請求項(抜粋):
板状の被検査材を支持ロールに巻き掛け、被検査材表面を照明し、撮像装置で被検査材表面を撮像して表面疵を検査する疵検査装置で、撮像条件を調整するための調整シートを取り付けた校正ロールの位置を調整する方法において、前記支持ロールに取り付けた調整シートに対して斜め上方および斜め下方から参照光を照射してロール軸方向に間隔をおいた参照マークを調整シートの両端部に形成し、各参照マークが前記調整シートの基準線上に位置するように参照光の照射方向を調整して維持し、前記校正ロールの調整シートに前記参照光を照射して基準線上に前記参照マークが位置するように校正ロールの位置を調整することを特徴とする疵検査装置用校正ロールの調整方法。
IPC (3件):
G01N 21/892 ,  B21C 51/00 ,  G01N 21/86
FI (3件):
G01N 21/892 A ,  B21C 51/00 P ,  G01N 21/86
Fターム (8件):
2G051AA32 ,  2G051AB07 ,  2G051AC30 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA05 ,  2G051ED12
引用特許:
審査官引用 (4件)
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