特許
J-GLOBAL ID:200903091808235030
X線モノクロメータ及びそれを用いたX線回折装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
横川 邦明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-209070
公開番号(公開出願番号):特開平9-033700
出願日: 1995年07月25日
公開日(公表日): 1997年02月07日
要約:
【要約】【課題】 単色化されると共に発散するX線ビームをX線モノクロメータによって形成することにより、X線源から試料に至るX線通過経路を短くして、X線回折装置の全体の形状を非常に小型にする。【解決手段】連続X線Rr から特性X線Rt を取り出すためのX線モノクロメータ1である。このX線モノクロメータ1は、連続X線Rr が入射する位置に配置されていてX線を発散状態で回折するモザイク角度幅の広い第1結晶1aと、その第1結晶1aに対して実質的に平行に配置されていて第1結晶1aで回折したX線が入射すると共にX線を発散状態で回折するモザイク角度幅の広い第2結晶1bとを有する。これらの結晶は、モザイク角度幅が0.3 ゚〜1 ゚程度のパイロリテックグラファイトによって形成できる。
請求項(抜粋):
連続X線から特性X線を取り出すためのX線モノクロメータにおいて、連続X線が入射する位置に配置されていてX線を発散状態で回折するモザイク角度幅の広い第1結晶と、その第1結晶に対して実質的に平行に配置されていて第1結晶で回折したX線が入射すると共にX線を発散状態で回折するモザイク角度幅の広い第2結晶とを有することを特徴とするX線モノクロメータ。
IPC (2件):
FI (3件):
G21K 1/06 F
, G21K 1/06 A
, G01N 23/20
引用特許:
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