特許
J-GLOBAL ID：200903091860318920
水晶基板の吸着方法、吸着ノズルおよび水晶基板検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362412
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179670
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：
【要約】【課題】 吸着ノズルによる水晶基板の吸着、保持、解除ミスを低減する。【解決手段】 ノズル吸着面12に開口部16に通じる溝17を設ける。吸着時、ノズル吸着面12に設けた溝17から、水晶基板の吸着力を損なわない程度の量の空気を吸着ノズル10内に流入させて、吸着時にも空気流が止まらないようにする。解除時にも、ノズル吸着面12に設けた溝17から、水晶基板の解除を損なわない程度の量の空気を吸着ノズル10外に流出させて、解除時に空気流が開口部16以外からも吐き出されるようにする。
請求項（抜粋）：
水晶基板の吸着時および解除時に、吸着ノズルの吸着面で空気もれを生じさせるようにした水晶基板の吸着方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 15/06 G
, B65G 47/91 Z
3C007DS01
, 3C007FS01
, 3C007FT01
, 3C007FU00
, 3C007GU03
, 3C007NS11
, 3C007NS17
, 3F061AA01
, 3F061CA01
, 3F061CB01
, 3F061CC00
, 3F061DB00
, 3F061DB06
, 3F061DC03
, 3F072AA28
, 3F072GB10
, 3F072KD03
, 3F072KE13
