特許
J-GLOBAL ID：200903077364934465
水晶基板のベベリング検査方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-036340
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230914
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 画像処理でベベリング状態を迅速かつ全数検査できるようにする。【解決手段】 ベベリング加工された水晶ブランク1の水平なブランク面に対して上下方向に±30°の照射角度の範囲内で拡散された散乱光を水晶ブランクの側面側全周方向から照射し、照射した水晶ブランク1のブランク面に対して垂直な方向から水晶ブランク1を撮像する。撮像された水晶ブランク1のブランク面の画像は、ベベリング加工部61と非加工部62とに陰影がついて両者が区別できるようになる。さらに2値化して加工部61と非加工部62とを明瞭に区別して浮かび上がらせることができるようにする。2値化データは統計処理してベベリング評価の標準化やGO/NO GO の検査に資する。
請求項（抜粋）：
ベベリング加工された水晶基板の水平な基板面に対して上下方向に±30°の照射角度の範囲内で拡散された散乱光を水晶基板の側面側全周方向から照射し、照射した水晶基板の基板面に対して垂直な方向から水晶基板を撮像し、撮像された水晶基板の基板面の画像を取り込み、取り込んだ画像からベベリング検査するようにした水晶基板のベベリング検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G06T 7/00
, G06T 1/00
G01N 21/88 D
, G06F 15/62 400
, G06F 15/64 320 F
