特許

J-GLOBAL ID：200903091876181020

八角形搬送チャンバ

発明者： ホワイト ジョン エム ,  竹原 尚子
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 安齋 嘉章
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-521894
公開番号（公開出願番号）：特表2009-545171
出願日： 2007年07月13日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：

クラスタツール内で基板を処理するための方法及び装置を開示する。このクラスタツールの搬送チャンバは、追加チャンバ(つまり、ロードロックチャンバ、バッファチャンバ、処理チャンバ)を取り付けることができる箇所を8つ有している。搬送チャンバは、3つの別々の部位から形成してよい。中央部は、矩形の部位であってよい。残り2つの部位は、台形の部位であってよい。各台形部は3つのスロットを有し、基板は、処理のために、このスロットを通過することが可能である。搬送チャンバの中央部は、技術者による搬送チャンバへのアクセスを容易にする着脱式の蓋部を有していてよい。

請求項（抜粋）：

搬送チャンバであり、 8つの面を有する本体部を備え、前記本体部は着脱式蓋部を有し、各面には1つ以上のスリット開口部が形成されており、 前記本体部に連結された少なくとも1つのロードロックチャンバと、 前記本体部に連結された少なくとも1つの処理チャンバとを備えている搬送チャンバ。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (13件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031GA45 ,  5F031MA04 ,  5F031MA07 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA30 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• クラスタ用移送チャンバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-162901   出願人：チュサンエンジニアリングコーリミテッド
• 真空処理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-360495   出願人：三菱重工業株式会社