特許

J-GLOBAL ID：200903091977925925

距離計

発明者： 成田 貴人 ,  久田 秀穂 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 日本分光株式会社 ,  科学技術振興事業団 ,  財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154030
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033209
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、参照物体を基準に測定物体の変位を、簡易な構成で、より微小な距離まで高精度に測定することのできる距離計を提供することにある。【解決手段】 所定のビーム径を持つ光束L1を射出する光源12と、測定物体がその光軸とほぼ直交する方向に変位可能な物体であって、前記光源12からの光束L1を、一方の物体としての透過型回折格子20で方向の異なる2つの回折光束L2,L3に分け、該2回折光束L2,L3を他方の物体としての反射型回折格子22にあて、その各反射光束L2,L3を再度、該透過型回折格子20で重ね合わせて干渉させる干渉手段14と、前記干渉手段14で得た干渉光L4を光電検出する検出手段16と、前記検出手段16で得た干渉信号の強度変化と干渉周期を測定し、該干渉信号の強度変化と干渉周期から、参照物体20を基準に測定物体22,24の変位を求める信号処理手段18と、を備えたことを特徴とする距離計10。

請求項（抜粋）：

参照物体を基準に測定物体の変位を測定する距離計において、所定のビーム径を持つ光束を射出する光源と、前記測定物体がその光軸とほぼ直交する方向に変位可能な物体であって、前記光源からの光束を、一方の物体としての透過型回折格子で方向の異なる2つの回折光束に分け、該2回折光束を他方の物体としての反射型回折格子にあて、その各反射光束を再度、該透過型回折格子で重ね合わせる干渉手段と、前記干渉手段で得た干渉光を、光電検出する検出手段と、前記検出手段で得た干渉信号の強度変化と干渉周期を測定し、該干渉信号の強度変化と干渉周期から、前記参照物体を基準に前記測定物体の変位を求める信号処理手段と、を備えたことを特徴とする距離計。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01N 37/00

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01N 37/00 A

Fターム (14件)：

2F065AA07 ,  2F065AA09 ,  2F065BB15 ,  2F065CC00 ,  2F065FF51 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL03 ,  2F065LL42 ,  2F065QQ25

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 変位検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-347414   出願人：キヤノン株式会社
• 光学式変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-308123   出願人：キヤノン株式会社